芒果体育12月14日，江苏微导纳米科技股份有限公司（证券简称：微导纳米，证券代码：688147.SH）开启科创板IPO申购，公司本次公开发行股票数量为4544.5536万股，计划募资10亿元，发行后总股本为45445.5359万股，公开发行股份数量占公司本次公开发行后总股本的比例为10%。

　　据了解，公司是国内领先的薄膜沉积设备生产商，是国内率先将原子层沉积（ALD）技术应用于光伏领域，并在此基础上继续拓展ALD技术在半导体、柔性电子等方面应用的企业。公司多年来专注于先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，依托在ALD技术上的不断突破，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。

　　薄膜沉积是指在基底上沉积特定材料形成薄膜，使之具有光学、电学等方面的特殊性能。在传统工艺中，由于存在厚度控制、膜层均匀性、保型性的限制，CVD与PVD工艺所生成的膜很难突破厚度极限，且在高深宽比结构中无法保证下游工艺需要的近100%覆盖率的技术要求。与之相比，微导纳米见长的ALD工艺ALD可以一个原子的厚度（0.1nm）为精度沉积薄膜，在100%阶梯覆盖率的基础上实现原子层级的薄膜厚度，适用于原子层厚度控制以及三维、超高深宽比结构器件的应用。基于此种技术特性，ALD技术在光伏、半导体、柔性电子等诸多高精尖领域均有着广泛应用。

　　具体来看，在光伏领域，公司产品具备优良的产能提升能力与产品性能，在保障光电转换效率的同时，有效帮助下游电池片厂商大幅降低了设备投资额与生产消耗成本。从国产光伏设备在国际竞争中处于优势地位的客观情况来看，公司光伏薄膜沉积设备的技术水平在国际竞争中亦能处于较高水平。其中，公司ALD设备镀膜速率陆续突破10,000片/小时、15,000片/小时乃至20,000片/小时，新型高产能机型已进入量产阶段，打破制约ALD技术应用于光伏领域的产能限制，成为行业主流镀膜方案之一。

　　目前，微导纳米已获得包括通威太阳能、阿特斯、隆基股份、爱旭股份600732）、晶科能源等多家重要光伏客户订单，并在TOPCon、XBC等高效电池生产线上开展应用，技术能力受到业内广泛认可，成为国内主要的光伏镀膜设备企业之一。

　　在半导体领域，ALD设备仍基本由境外厂商垄断。公司已形成覆盖逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等多种工艺环节的半导体薄膜沉积设备，满足下游客户工艺需求。值得一提的是，公司不仅是行业内极少数的新进入者和国产厂商代表之一，也是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线，并实现产业化应用的国产设备公司。高介电常数（High-k）栅氧薄膜工艺是半导体先进制程中难度较大的工艺之一，随着半导体各应用领域不同环节应用的陆续突破，这对于解决我国半导体设备领域“卡脖子”困境具有重要意义。

　　值得注意的是，公司已经获得多家国内知名半导体企业订单并积极拓展相关应用领域。在与多家国内主流半导体厂商及验证平台签署保密协议的同时，不断开展产品技术验证等工作。其中，凤凰300原子层沉积设备入选第十五届中国半导体创新产品。此外，公司正开展在半导体其他细分领域以及柔性电子领域中的应用，积极探索下游应用领域的其他可能性。

　　随着下游光伏行业的快速发展以及太阳能电池技术的迭代，光伏薄膜沉积设备市场空间广阔。微导纳米产品主要用于光伏产业链的中游环节，为太阳能电池片厂商提供镀膜设备。根据IRENA预测，太阳能光伏发电的全球总容量将从2018年的480 GW，到2030年达到2840 GW，到2050年达到8519 GW。

　　尽管我国太阳能光伏产业起步相对国外较晚，但发展极为迅速，截至2021年底我国光伏发电装机量达307GW，连续7年位居全球首位。根据中国光伏行业协会预测，“十四五”期间我国光伏市场将迎来市场化建设高峰，预计国内年均光伏装机新增规模在70-90GW之间。

　　从光伏产业链中的太阳能电池片细分领域来看，薄膜沉积设备主要应用于太阳能晶硅电池片的制造环节，2018-2021年我国新建成产线基本全部为PERC产线，生产设备基本实现国产化。随着下游光伏行业向高效率、高性能发展，薄膜沉积相关设备在新一代光伏设备中投资比重持续增加，预计达到40%-50%左右。

　　近年来，半导体设备向高精度化发展的趋势极大地带动了ALD设备需求快速增长，国产设备进口替代加速。公司设备主要应用于先进制程半导体制造前道工序中的薄膜沉积环节。然而，我国半导体薄膜沉积设备的国产化率目前仍然较低，国产替代空间巨大。

　　伴随着国家鼓励类产业政策和产业投资基金不断的落实与实施，本土半导体及其设备制造业迎来了前所未有的发展契机，而薄膜沉积设备作为半导体制造的核心设备，将会迎来巨大的进口替代市场空间。尤其是国产半导体ALD设备的市场规模也将在国产化进程加快的背景下快速提升，公司作为细分领域头部企业，有望充分受益。

　　在市场规模不断扩张，公司核心技术受到广泛认可的背景下，2019-2021年，公司实现营业收入21581.56万元、31255.41万元和42791.71万元，年均复合增速40.81%，截至2022年9月末在手订单增速更是超过120%，显著高于光伏行业平均增速水平。需要指出的是，作为一家技术型驱动企业，公司2019-2021年研发支出占营收比重分别为14.41%、17.19%、22.68%，研发费用投入强度持续提升。

　　在此背景下，公司本次IPO拟募资10亿元，将投资于基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目、基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目、集成电路高端装备产业化应用中心项目以及补充公司日常经营所需流动资金。其中，75%左右的资金用于核心技术ALD的扩产升级，预计项目落地投产后，将进一步增强其核心技术的行业竞争力。

　　公司表示，待成功上市后，微导纳米将持续打造以原子层沉积（ALD）为核心技术的多元化竞争格局，积极拓展并深化核心技术在下一代光伏电池、半导体、柔性电子等领域的应用。以薄膜沉积技术为重要抓手，针对市场发展和需求开发专用于产业化的薄膜沉积解决方案和产品，不断向产品横向以及纵深发展，力争成为世界级的微纳技术解决方案装备制造商。(CIS)

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