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芒果体育(中国)股份有限公司太阳能光伏设备

2023-01-29 19:51:54
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  芒果体育技术原理是利用低温等离子体作能量源,样品置于低气压下辉光放电的阴极上,利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的反应气体,气体经一系列化学反应和等离子体反应,在样品表面形成固态薄膜。

  产品简介:应用于太阳能光伏半导体分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸。

  产品简介:闭管磷扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,工艺废气集中从尾部排出;各种工艺气体可分开送入石英管内,工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入石英管内。闭管扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰,工艺质量完全受控。

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